智能时代下异质集成材料与器件技术

Speaker
欧欣
Title
研究员
Affiliation
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Time
2025-12-24 (Wed) 10:00
Location
中科大上海研究院新区1号楼3楼报告厅(HFNL科研楼南楼A712、科大物质楼B1102、济南量子院量子科学大厦1417室同步视频)
Abstract

报告人简介:欧欣,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,集成电路材料全国重点实验室二级研究员、硅基材料与集成器件实验室主任,国家科技创新领军人才(2019)、国家优青(2016)、享受国务院政府特殊津贴(2024)、中国青年科技奖(2022)、中国科学院高层次人才(终期优秀)(2015)上海市领军人才(2023)、上海市优秀学术带头人(2018)。 IEEE国际超声技术会议IUS TPC中国委员,先后主持基金委重大项目及国家重点研发计划,在硅基SOI 材料技术的基础上面向集成电路材料的发展趋势及5G 芯片对异质集成材料技术的重大需求,发展异质集成XOI材料与器件技术,成功开发出多种异质晶圆制备技术并应用于光电调制器、射频滤波器等芯片,研究成果解决了国产高性能5G/6G射频滤波器用压电异质晶圆自主可控问题。先后发表SCI/EI 论文 229 篇,其中 150 篇以第一/通讯作者发表在 Nature(2)、Nature Mater.、NatureCom.(3)、PRL(2)、Adv. Mater.、Nano Lett. (2) 、Light (4)、Optica(2)、Appl. Phys. Rev. 等著名期刊及IEEE 系列 IEDM (5)、TMTT(7)、IMS (3)、MEMS (6)、IUS(25) 等;参著两本英文专著和两本本中文专著;第一发明人申请专利230件,已授权132件,国际专利7件,转化许可42件,先后获得中国科学院优秀博士论文、2023/2024/2025中国科学院优秀导师奖、中国产学研合作创新奖、2019年中国光学十大进展、2024年中国光学十大影响力事件、2024年中国半导体十大进展、首届全国颠覆性创新技术大赛总决赛优胜奖,2022年国际IEEE微波奖(国内唯二)、2016年国际离子束与材料改性IBMM Prize(国内首位)等荣誉。

报告摘要: 异质集成可以突破单一半导体能带结构和物理特性的限制,已成为信息器件技术发展的重要趋势, 一方面可以制造频谱更宽阔、功能更丰富、性能更优异的微电子和光电子器件,另一方面可以实现分立器件的单芯片集成,推动电子系统向小型化、集成化方向发展。 但高质量异质集成材料制备及异质界面对器件的多场调控还面临诸多关键科学问题。本报告介绍课题组在新型异质集成XOI材料及器件方面的研究进展,通过建立异质材料制备技术体系,为5G/6G时代高功率电子器件、高速光子器件(铌酸锂、钽酸锂)和高频、大带宽射频声学器件提供异质集成材料平台和器件方案。